حلقة التركيز من السيليكون أحادي البلورة هي مكون أساسي في جهاز معالجة البلازما، وتستخدم بشكل أساسي في مجال تصنيع أشباه الموصلات. إنها تعزز تجانس النقش وتقلل من الترسيب الخلفي من خلال محيط الرقاقة.
المزايا: ① الهيكل أحادي البلورة يحتوي على عيوب أقل، وقوة ميكانيكية أعلى، ومقاومة أفضل لقصف البلازما مقارنة بالمواد متعددة البلورات
② يمكن أن يصل إنهاء السطح إلى مستوى النانومتر، مما يمنع تساقط الجسيمات وتلوث الرقاقة
③ درجة تطابق عالية بين معامل التمدد الحراري والرقاقة، مما يجعلها أقل عرضة للتشوه تحت عمليات درجات الحرارة العالية