Hauptprodukt: Rotierendes Silizium-Zielmaterial
Es handelt sich um ein rohrförmiges Zielmaterial, das für Magnetron-Sputteranlagen geeignet ist und hochreines Silizium (Reinheit typischerweise ≥99,9999%) als Kernrohstoff verwendet. Es wird mechanisch zu einem Rohr verarbeitet und dann mit einem Titan-Trägerrohr verbunden, um eine Einheit zu bilden. Es wird hauptsächlich in physikalischen Dampfabscheidungsprozessen (PVD) wie der Herstellung von Flachbildschirmen, optischen Linsen und der Abscheidung von Dünnschichten für Solarzellen eingesetzt.
Vorteile: ① Hohe Reinheit, Si≥99,9999%
② Das Zielmaterial wird ohne Spleißen integriert, und die Länge des Zielmaterials kann bis zu 2 Meter betragen.
③ Geeignet für Hochleistungs-, Hochwärmeleitfähigkeits-, Langzeit-Sputteranwendungen mit geringen Partikeldefekten.