ماده کوارتز با خلوص بالا به ماده کوارتزی با خلوص SiO₂ ≥ ۹۹.۹۹۸٪ اشاره دارد که حاوی کمتر از ۲۰ ppm ناخالصی کل است و از ماسه کوارتز با خلوص بالا از طریق خالص‌سازی و سایر فرآیندها ساخته می‌شود.
مزایا: ① انتقال نور عالی از طول موج فرابنفش تا مادون قرمز، ضریب انبساط حرارتی پایین، نقطه ذوب تا ۱۷۱۳ درجه سانتیگراد، مقاومت بالا در برابر دماهای بالا و شوک حرارتی.
② دارای پایداری شیمیایی خوبی است، به جز اینکه در برابر اسید هیدروفلوئوریک مقاوم نیست.
③ از مقاومت الکتریکی بسیار بالا و عملکرد عایق عالی برخوردار است که آن را برای محیط‌های فرکانس بالا و ولتاژ بالا مناسب می‌سازد.