مواد کوارتز با خلوص بالا به مواد کوارتزی با خلوص SiO₂ ≥ 99.998% اشاره دارد که دارای کل ناخالصی کمتر از 20 ppm است و از ماسه کوارتز با خلوص بالا از طریق خالص‌سازی و سایر فرآیندها ساخته می‌شود.
مزایا: ① انتقال نور عالی از طول موج فرابنفش تا مادون قرمز، ضریب انبساط حرارتی پایین، نقطه ذوب تا 1713 درجه سانتیگراد، مقاومت قوی در برابر دماهای بالا و شوک حرارتی.
② دارای پایداری شیمیایی خوبی است، به جز اینکه در برابر اسید هیدروفلوئوریک مقاوم نیست.
③ از مقاومت الکتریکی بسیار بالا و عملکرد عایق عالی برخوردار است و آن را برای محیط‌های فرکانس بالا و ولتاژ بالا مناسب می‌سازد.