Bahan kuarsa dengan kemurnian tinggi mengacu pada bahan kuarsa dengan kemurnian SiO₂ ≥ 99,998%, dengan total kandungan pengotor kurang dari 20 ppm, yang dibuat dari pasir kuarsa dengan kemurnian tinggi melalui pemurnian dan proses lainnya.
Keunggulan: ① Transmitansi yang sangat baik dari panjang gelombang ultraviolet hingga inframerah, koefisien ekspansi termal rendah, titik leleh hingga 1713℃, ketahanan yang kuat terhadap suhu tinggi dan kejutan termal
② Memiliki stabilitas kimia yang baik, kecuali tidak tahan terhadap asam fluorida
③ Memiliki resistivitas yang sangat tinggi dan kinerja insulasi yang sangat baik, membuatnya cocok untuk lingkungan frekuensi tinggi dan tegangan tinggi