Produk utama: Bahan target silikon berputar
Ini adalah bahan target berbentuk tabung yang cocok untuk peralatan sputtering magnetron, dengan silikon berkemurnian tinggi (kemurnian biasanya ≥99.9999%) sebagai bahan baku inti. Bahan ini diproses secara mekanis menjadi tabung dan kemudian direkatkan dengan tabung penyangga titanium untuk membentuk satu unit. Bahan ini terutama digunakan dalam proses deposisi uap fisik (PVD) seperti persiapan panel layar datar, lensa optik, dan deposisi film tipis untuk sel fotovoltaik.
Keunggulan: ① Kemurnian tinggi, Si≥99.9999%
② Bahan target terintegrasi tanpa penyambungan, dan panjang bahan target dapat mencapai hingga 2 meter.
③ Cocok untuk daya tinggi, konduktivitas termal tinggi, sputtering jangka panjang, dengan cacat partikel rendah.