Cincin fokus silikon monokristalin adalah komponen inti dari perangkat pemrosesan plasma, terutama digunakan dalam bidang manufaktur semikonduktor. Cincin ini meningkatkan keseragaman etsa dan mengurangi deposisi bagian belakang dengan mengelilingi tepi wafer.
Keunggulan: ① Struktur monokristalin memiliki lebih sedikit cacat, kekuatan mekanik lebih tinggi, dan ketahanan terhadap bombardir plasma yang unggul dibandingkan material polikristalin
② Permukaan akhir dapat mencapai tingkat nanometer, mencegah pelepasan partikel dan kontaminasi wafer
③ Tingkat kesesuaian yang tinggi antara koefisien muai panas dan wafer, sehingga tidak mudah mengalami deformasi di bawah proses suhu tinggi