高純度石英材料とは、SiO₂ ≥ 99.998%の純度を持ち、不純物総量が20 ppm未満の高純度石英砂を精製などの工程を経て製造された石英材料を指します。
利点：① 紫外から赤外線波長までの優れた透過率、低い熱膨張係数、融点1713℃まで、高温および熱衝撃に対する強い耐性
② 良好な化学的安定性を持ちますが、フッ化水素酸には耐性がありません。
③ 極めて高い抵抗率と優れた絶縁性能を誇り、高周波・高電圧環境に適しています。