ディテール
配送方法:陸上輸送, 海上輸送
製品ディテール
主な製品:回転式シリコンターゲット材料
高純度シリコン(純度通常≥99.9999%)を主原料としたマグネトロンスパッタリング装置に適した管状ターゲット材料です。機械加工により管状にし、その後チタン製バッキングチューブと接合して一体化します。主にフラットパネルディスプレイ、光学レンズの製造、太陽電池用薄膜成膜などの物理気相成長(PVD)プロセスで使用されます。
利点:① 高純度、Si≥99.9999%
② 対象材料は継ぎ目なく一体化されており、対象材料の長さは最大2メートルに達します。
③ 高出力、高熱伝導率、長期間スパッタリングに適しており、低粒子欠陥です。
高純度シリコン(純度通常≥99.9999%)を主原料としたマグネトロンスパッタリング装置に適した管状ターゲット材料です。機械加工により管状にし、その後チタン製バッキングチューブと接合して一体化します。主にフラットパネルディスプレイ、光学レンズの製造、太陽電池用薄膜成膜などの物理気相成長(PVD)プロセスで使用されます。
利点:① 高純度、Si≥99.9999%
② 対象材料は継ぎ目なく一体化されており、対象材料の長さは最大2メートルに達します。
③ 高出力、高熱伝導率、長期間スパッタリングに適しており、低粒子欠陥です。



