주요 제품: 회전 실리콘 대상 재료
고순도 실리콘(순도 일반적으로 ≥99.9999%)을 핵심 원료로 하는 마그네트론 스퍼터링 장비에 적합한 관형 대상 재료입니다. 기계적으로 튜브 형태로 가공된 후 티타늄 백킹 튜브와 결합되어 단일 장치를 형성합니다. 주로 평판 디스플레이 패널, 광학 렌즈 제조 및 태양 전지 박막 증착과 같은 물리적 증착(PVD) 공정에 사용됩니다.
장점: ① 고순도, Si≥99.9999%
② 대상 재료는 접합 없이 통합되며, 대상 재료의 길이는 최대 2미터까지 도달할 수 있습니다.
③ 고출력, 고열전도성, 장시간 스퍼터링에 적합하며 낮은 입자 결함을 가집니다.