단결정 실리콘 포커싱 링은 플라즈마 공정 장치의 핵심 부품으로, 주로 반도체 제조 분야에서 사용됩니다. 웨이퍼 주변부를 둘러싸서 에칭 균일성을 향상시키고 뒷면 증착을 줄입니다.
장점: ① 단결정 구조는 다결정 재료에 비해 결함이 적고 기계적 강도가 높으며 플라즈마 충돌 저항성이 우수합니다.
② 표면 마감이 나노미터 수준에 도달하여 입자 탈락 및 웨이퍼 오염을 방지합니다.
③ 열팽창 계수와 웨이퍼 간의 높은 일치도로 고온 공정 중 변형이 적습니다.