Główny produkt: Obracający się materiał docelowy z krzemu
Jest to materiał docelowy w postaci rurki, odpowiedni do urządzeń do osadzania magnetronowego, z wysokopurystycznym krzemem (czystość zazwyczaj ≥99.9999%) jako głównym surowcem. Jest mechanicznie przetwarzany na rurkę, a następnie łączony z rurką wsporczą z tytanu, aby utworzyć jedną jednostkę. Jest głównie stosowany w procesach fizycznego osadzania pary (PVD), takich jak przygotowanie paneli wyświetlaczy płaskich, soczewek optycznych oraz osadzanie cienkowarstwowych dla ogniw fotowoltaicznych.
Zalety: ① Wysoka czystość, Si≥99.9999%
② Materiał docelowy jest zintegrowany bez spawania, a długość materiału docelowego może osiągnąć do 2 metrów.
③ Odpowiedni do wysokiej mocy, wysokiej przewodności cieplnej, długoterminowego osadzania, z niskimi defektami cząsteczkowymi.