Główny produkt: Obracający się materiał docelowy z krzemu
Jest to materiał docelowy w postaci rurki, odpowiedni do urządzeń do osadzania magnetronowego, z wysokoczystym krzemem (czystość zazwyczaj ≥99,9999%) jako głównym surowcem. Jest mechanicznie przetwarzany na rurkę, a następnie łączony z rurką wsporczą z tytanu, aby utworzyć jedną jednostkę. Jest głównie stosowany w procesach fizycznego osadzania pary (PVD), takich jak przygotowanie paneli wyświetlaczy płaskich, soczewek optycznych i osadzanie cienkowarstwowych dla ogniw fotowoltaicznych.
Zalety: ① Wysoka czystość, Si≥99,9999%
② Materiał docelowy jest zintegrowany bez spawania, a długość materiału docelowego może osiągnąć do 2 metrów.
③ Odpowiedni do wysokiej mocy, wysokiej przewodności cieplnej, długoterminowego osadzania, z niskimi defektami cząsteczkowymi.