Pierścień ogniskujący z monokrystalicznego krzemu jest kluczowym elementem urządzenia do przetwarzania plazmowego, głównie stosowanym w dziedzinie produkcji półprzewodników. Zwiększa jednorodność trawienia i redukuje osadzanie się materiału na tylnej stronie wafla, otaczając jego obwód.
Zalety: ① Struktura monokrystaliczna ma mniej wad, wyższą wytrzymałość mechaniczną i lepszą odporność na bombardowanie plazmą w porównaniu do materiałów polikrystalicznych
② Wykończenie powierzchni może osiągnąć poziom nanometrów, zapobiegając odpadaniu cząstek i zanieczyszczeniu wafla
③ Wysoki stopień dopasowania współczynnika rozszerzalności cieplnej do wafla, co sprawia, że jest mniej podatny na deformacje podczas procesów w wysokiej temperaturze