Основной продукт: Вращающийся кремниевый целевой материал
Это трубчатый целевой материал, подходящий для оборудования магнетронного распыления, с высокочистым кремнием (чистота обычно ≥99.9999%) в качестве основного сырья. Он механически обрабатывается в трубку, а затем соединяется с титановым задним трубкой, чтобы образовать единое целое. В основном используется в процессах физического осаждения паров (PVD), таких как подготовка плоских дисплейных панелей, оптических линз и осаждение тонких пленок для фотоэлектрических ячеек.
Преимущества: ① Высокая чистота, Si≥99.9999%
② Целевой материал интегрирован без спlicing, и длина целевого материала может достигать до 2 метров.
③ Подходит для высокой мощности, высокой теплопроводности, длительного распыления, с низкими дефектами частиц.