மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் ஃபோகஸிங் ரிங் என்பது பிளாஸ்மா செயலாக்க சாதனத்தின் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது முதன்மையாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது வேஃபரின் சுற்றளவைச் சுற்றி பொறிப்பு சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் பின்புற படிவைக் குறைக்கிறது.
நன்மைகள்: ① மோனோகிரிஸ்டலின் அமைப்பு குறைவான குறைபாடுகள், அதிக இயந்திர வலிமை மற்றும் பாலி-கிரிஸ்டலின் பொருட்களை விட சிறந்த பிளாஸ்மா தாக்குதல் எதிர்ப்பு கொண்டது
② மேற்பரப்பு பூச்சு நானோமீட்டர் அளவை அடையலாம், துகள் உதிர்வதையும் வேஃபரின் மாசுபடுவதையும் தடுக்கிறது
③ வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் வேஃபர் இடையே அதிக பொருத்தம், உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது சிதைவுக்கு ஆளாகும் வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது