مونو کرسٹلائن سلیکون فوکسنگ رنگ پلازما پروسیسنگ ڈیوائس کا ایک بنیادی جزو ہے، جو بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے شعبے میں استعمال ہوتا ہے۔ یہ ویفر کے کنارے کو گھیرے ہوئے ایچنگ کی یکسانیت کو بڑھاتا ہے اور پچھلی طرف جمع ہونے کو کم کرتا ہے۔
فوائد: ① مونو کرسٹلائن ڈھانچے میں پولی کرسٹلائن مواد کے مقابلے میں کم نقائص، اعلیٰ مکینیکل طاقت، اور بہتر پلازما بمبارڈمنٹ مزاحمت ہوتی ہے
② سطح کی فنش نینو میٹر سطح تک پہنچ سکتی ہے، جو ذرات کے گرنے اور ویفر کی آلودگی کو روکتی ہے
③ تھرمل توسیع کے گتانک اور ویفر کے درمیان اعلیٰ مماثلت، جو اسے اعلیٰ درجہ حرارت کے عمل کے دوران اخترتی کا کم شکار بناتی ہے