Yuqori tozalikdagi kvarts materiali deganda, tozaligi SiO₂ ≥ 99.998% bo'lgan, umumiy aralashmalar miqdori 20 ppm dan kam bo'lgan kvarts materiali tushuniladi, u yuqori tozalikdagi kvarts qumidan tozalash va boshqa jarayonlar orqali tayyorlanadi.
Afzalliklari: ① ultrabinafsha nurlanishdan infraqizil to'lqin uzunliklarigacha mukammal o'tkazuvchanlik, past termal kengayish koeffitsienti, erish nuqtasi 1713℃ gacha, yuqori harorat va termal zarbaga kuchli qarshilik
② Kimyoviy barqarorligi yaxshi, faqat ftorid kislotasiga chidamli emas
③ Juda yuqori qarshilik va mukammal izolyatsiya ko'rsatkichlariga ega, bu uni yuqori chastotali va yuqori kuchlanishli muhitlar uchun mos qiladi