Asosiy mahsulot: Aylanuvchi kremniy maqsadli material
Bu magnetron sputtering uskunasi uchun mos bo'lgan quvurli maqsadli material bo'lib, asosiy xom ashyo sifatida yuqori tozalikdagi kremniydan (tozalik odatda ≥99.9999%) foydalanadi. U mexanik ravishda quvurga ishlov beriladi va keyin bir butunni hosil qilish uchun titanium tayanch quvur bilan biriktiriladi. U asosan tekis displey panellari, optik linzalar tayyorlash va quyosh batareyalari uchun yupqa plyonkalar cho'ktirish kabi fizik bug'lanish cho'ktirish (PVD) jarayonlarida ishlatiladi.
Afzalliklari: ① Yuqori tozalik, Si≥99.9999%
② Maqsadli material biriktirilmasdan integratsiya qilinadi va maqsadli materialning uzunligi 2 metrgacha yetishi mumkin.
③ Yuqori quvvat, yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi, uzoq muddatli sputtering uchun mos, past zarrali nuqsonlarga ega.