Monokristall silikon fokuslash halqasi plazma ishlov berish qurilmasining asosiy qismidir, asosan yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sohasida qo'llaniladi. U gofropoyaning perimetrini o'rab olib, etchni bir xilligini oshiradi va orqa tomonga cho'kishni kamaytiradi.
Afzalliklari: ① Monokristall tuzilishi kamroq nuqsonlarga, yuqori mexanik mustahkamlikka ega va polikristall materiallarga nisbatan plazma zarbalariga chidamliligi yuqori
② Yuzaki pardoz nanometr darajasiga yetishi mumkin, bu zarrachalar tushishini va gofropoyaning ifloslanishini oldini oladi
③ Termal kengayish koeffitsientining gofropoyaga yuqori mosligi, bu yuqori haroratli jarayonlarda deformatsiyaga moyilligini kamaytiradi