Monokristalli silikon fokuslash halqasi plazma ishlov berish qurilmasining asosiy qismidir, asosan yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sohasida qo'llaniladi. U gofretning perimetrini o'rab olgan holda o'yma bir xilligini oshiradi va orqa tomonga cho'kishni kamaytiradi.
Afzalliklari: ① Monokristalli strukturada kamroq nuqsonlar, yuqori mexanik quvvat va polikristalli materiallarga nisbatan yuqori plazma zarbalariga chidamlilik mavjud
② Yuzaki pardozlash nanometr darajasiga erishishi mumkin, bu zarrachalar tushishini va gofretning ifloslanishini oldini oladi
③ Termal kengayish koeffitsiyenti va gofret o'rtasida yuqori moslik darajasi, bu yuqori haroratli jarayonlarda deformatsiyaga kamroq moyil bo'lishini ta'minlaydi