Vật liệu thạch anh tinh khiết cao đề cập đến vật liệu thạch anh có độ tinh khiết SiO₂ ≥ 99,998%, với tổng hàm lượng tạp chất dưới 20 ppm, được làm từ cát thạch anh tinh khiết cao thông qua quá trình tinh chế và các quy trình khác.
Ưu điểm: ① Khả năng truyền qua tuyệt vời từ bước sóng cực tím đến hồng ngoại, hệ số giãn nở nhiệt thấp, điểm nóng chảy lên tới 1713℃, khả năng chống nhiệt độ cao và sốc nhiệt mạnh
② Nó có độ ổn định hóa học tốt, ngoại trừ việc không kháng axit hydrofluoric
③ Nó có điện trở suất cực cao và hiệu suất cách điện tuyệt vời, làm cho nó phù hợp với môi trường tần số cao và điện áp cao