उत्पाद परिचय
यह उपकरण विशेष रूप से एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट उद्योग के लिए विकसित एक उच्च तापमान वैक्यूम डीवैक्सिंग और सिंटरिंग एकीकृत भट्टी है, जो डीवैक्सिंग और सिंटरिंग कार्यों को एक में एकीकृत करती है। यह डबल-लेयर वाटर-कूल्ड वैक्यूम शेल संरचना को अपनाता है, जो ग्रेफाइट मल्टी-ज़ोन स्वतंत्र तापमान नियंत्रण हीटिंग के साथ मिलकर वैक्यूम डीवैक्सिंग और आंशिक दबाव डीवैक्सिंग के दोहरे मोड का समर्थन करता है। गैस प्रणाली मल्टी-चैनल प्लेनर डिज़ाइन को अपनाती है, जो डीवैक्सिंग डीगैसिंग प्रभाव को काफी बढ़ा सकती है, और यह एल्यूमीनियम नाइट्राइड सब्सट्रेट सिंटरिंग प्रक्रिया के लिए पसंदीदा उपकरण है।
तकनीकी विशेषताएं
शेल संरचना: डबल-लेयर वाटर-कूल्ड वैक्यूम शेल, उच्च शीतलन दक्षता, अच्छी एयरटाइटिटी
हीटिंग विधि: ग्रेफाइट हीटिंग तत्व, मल्टी-ज़ोन स्वतंत्र तापमान नियंत्रण, मजबूत तापमान क्षेत्र नियंत्रणीयता
डीवैक्सिंग मोड: वैक्यूम डीवैक्सिंग और आंशिक दबाव डीवैक्सिंग दोनों मोड का समर्थन करता है, उच्च प्रक्रिया लचीलापन
गैस पाथ डिज़ाइन: मल्टी-चैनल प्लेनर गैस संरचना, समान गैस प्रवाह वितरण, अधिक संपूर्ण डीगैसिंग
उत्पाद के फायदे
मजबूत विशिष्टता: एल्यूमीनियम नाइट्राइड सब्सट्रेट प्रक्रिया विशेषताओं के लिए विकसित, उच्च मिलान
एकीकृत डिज़ाइन: डीवैक्सिंग और सिंटरिंग एक ही उपकरण में पूरे होते हैं, सामग्री हस्तांतरण को कम करते हैं, दक्षता बढ़ाते हैं
डबल डीवैक्सिंग मोड: विभिन्न योगों और मोटाई सब्सट्रेट के अनुकूल होने के लिए वैक्यूम या आंशिक दबाव डीवैक्सिंग को लचीले ढंग से चुना जा सकता है
समान तापमान क्षेत्र: मल्टी-ज़ोन स्वतंत्र तापमान नियंत्रण, सब्सट्रेट बैच स्थिरता सुनिश्चित करता है
उत्कृष्ट डीगैसिंग प्रभाव: प्लेनर मल्टी-चैनल गैस पाथ, स्थानीय कार्बन जमाव से बचाता है, उपज में सुधार करता है




