แนะนำผลิตภัณฑ์

อุปกรณ์นี้เป็นเตาอบแบบบูรณาการอุณหภูมิสูงสุญญากาศสำหรับการขจัดคราบไขมันและการเผาผนึกที่พัฒนาขึ้นเป็นพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมซับสเตรตเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ รวมฟังก์ชันการขจัดคราบไขมันและการเผาผนึกเข้าด้วยกัน ใช้โครงสร้างเปลือกสุญญากาศแบบสองชั้นระบายความร้อนด้วยน้ำ พร้อมการทำความร้อนแบบควบคุมอุณหภูมิอิสระหลายโซนด้วยกราไฟต์ รองรับโหมดการขจัดคราบไขมันแบบสุญญากาศและการขจัดคราบไขมันแบบแบ่งแรงดัน ระบบก๊าซใช้การออกแบบแบบหลายช่องแบบไหลขนาน ซึ่งสามารถปรับปรุงผลการขจัดคราบไขมันและกาวได้อย่างมาก และเป็นอุปกรณ์ที่เลือกสำหรับกระบวนการเผาผนึกซับสเตรตอะลูมิเนียมไนไตรด์

คุณสมบัติทางเทคนิค

โครงสร้างเปลือก: เปลือกสุญญากาศแบบสองชั้นระบายความร้อนด้วยน้ำ ประสิทธิภาพการระบายความร้อนสูง การปิดผนึกอากาศดี

วิธีการทำความร้อน: องค์ประกอบความร้อนกราไฟต์ ควบคุมอุณหภูมิอิสระหลายโซน ความสามารถในการควบคุมสนามอุณหภูมิสูง

โหมดการขจัดคราบไขมัน: รองรับทั้งโหมดการขจัดคราบไขมันแบบสุญญากาศและการขจัดคราบไขมันแบบแบ่งแรงดัน ความยืดหยุ่นของกระบวนการสูง

การออกแบบช่องอากาศ: โครงสร้างก๊าซแบบหลายช่องแบบไหลขนาน การกระจายการไหลของอากาศสม่ำเสมอ การกำจัดกาวสมบูรณ์ยิ่งขึ้น

ข้อดีของผลิตภัณฑ์

ความจำเพาะสูง: พัฒนาขึ้นสำหรับลักษณะเฉพาะของกระบวนการซับสเตรตอะลูมิเนียมไนไตรด์ ความเข้ากันได้สูง

การออกแบบแบบบูรณาการ: การขจัดคราบไขมันและการเผาผนึกเสร็จสิ้นภายในอุปกรณ์เดียวกัน ลดการถ่ายโอนวัสดุ เพิ่มประสิทธิภาพ

โหมดการขจัดคราบไขมันแบบคู่: สามารถเลือกการขจัดคราบไขมันแบบสุญญากาศหรือแบบแบ่งแรงดันได้อย่างยืดหยุ่น เพื่อรองรับซับสเตรตที่มีสูตรและความหนาต่างกัน

อุณหภูมิสม่ำเสมอ: ควบคุมอุณหภูมิอิสระหลายโซน รับประกันความสม่ำเสมอของแบทช์ซับสเตรต

ประสิทธิภาพการกำจัดกาวดีเยี่ยม: ช่องอากาศแบบหลายช่องแบบไหลขนาน หลีกเลี่ยงการสะสมคาร์บอนเฉพาะจุด เพิ่มอัตราผลผลิต