ภาษาไทย
สร้างใน 09.09
โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์กับระบบจ่ายก๊าซ UHP: ทำไมท่อ EP จึงมีความสำคัญ
เหตุใดระบบจ่ายก๊าซ UHP จึงมีความสำคัญอย่างยิ่ง?
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์—กระบวนการต่างๆ เช่น การกัดเซาะ (etching), การสะสมไอเคมี (CVD), การฝังไอออน (ion implantation), และการพิมพ์ลายวงจร (lithography)—ก๊าซที่ใช้ในกระบวนการต้องมีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ โดยทั่วไปคือ 99.9999% (6N) หรือแม้กระทั่ง 99.99999% (7N) แม้แต่สิ่งปนเปื้อนเพียงเล็กน้อยในระดับ ppb (ส่วนในพันล้านส่วน) หรือ ppt (ส่วนในล้านล้านส่วน)—เช่น ความชื้นหรือออกซิเจน—ก็สามารถทำให้เกิดข้อบกพร่องร้ายแรง เช่น การบางลงของออกไซด์เกต (gate oxide thinning), ช่องว่างโลหะ (metallic voids), หรือการลัดวงจรบนแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งอาจทำให้ทั้งล็อตต้องถูกทิ้ง
ภารกิจของระบบจ่ายก๊าซ UHP จึงคือการขนส่งก๊าซจากแหล่งกำเนิดไปยังเครื่องมือกระบวนการโดยไม่ให้ความบริสุทธิ์ลดลงแม้แต่น้อย พร้อมป้องกันทั้งการปนเปื้อนและการรั่วไหลในทุกจุด
เหตุใดท่อ EP จึงกลายเป็นกระดูกสันหลังของระบบ UHP?
ท่อ EP (Electropolished) ผลิตจากสแตนเลสที่ผ่านกระบวนการขัดเงาด้วยไฟฟ้าเคมี ทำให้พื้นผิวภายในมีลักษณะเหมือนกระจก จึงเป็น "เส้นเลือดใหญ่" ที่ขาดไม่ได้สำหรับการจ่ายก๊าซ UHP
ความสะอาดสูงสุด – การป้องกันตั้งแต่ต้นทาง
กระบวนการ EP ช่วยลดความหยาบของพื้นผิวภายใน (Ra) ให้เหลือ 0.13 µm – 0.25 µm หรือต่ำกว่า พื้นผิวที่เรียบเป็นพิเศษนี้ช่วยขจัดรอยแตกขนาดเล็กและตำแหน่งการดูดซับ ทำให้ไม่มีที่ให้อนุภาค ไอออนโลหะ หรือความชื้นเกาะติด
ความต้านทานการกัดกร่อนที่เพิ่มขึ้น – การรักษาความบริสุทธิ์
ขั้นตอนการขัดเงาด้วยไฟฟ้าเคมีช่วยขจัดสิ่งสกปรกบนพื้นผิวและสร้างชั้นฟิล์มป้องกันที่อุดมด้วยโครเมียมออกไซด์ ซึ่งช่วยเพิ่มความต้านทานต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน เช่น Cl₂, CF₄ และ HCl ได้อย่างมีนัยสำคัญ ซึ่งป้องกันการกัดกร่อนของผนังท่อที่อาจก่อให้เกิดอนุภาคหรือการปนเปื้อนจากการคายก๊าซ
ประสิทธิภาพการไหลที่ดีขึ้นและการไล่ก๊าซที่เร็วขึ้น
ผนังด้านในที่เรียบลื่นช่วยลดความต้านทานการไหล และเร่งการไล่ระบบและการเปลี่ยนถ่ายก๊าซ ในกระบวนการที่ต้องมีการสลับก๊าซอย่างรวดเร็ว สิ่งนี้ช่วยลดรอบเวลาและเพิ่มปริมาณการผลิตของโรงงาน
วัสดุระดับพรีเมียม – มาตรฐาน "ระดับสูงสุด"
ท่อ EP คุณภาพสูงผลิตจากสแตนเลส 316L VIM‑VAR (การหลอมเหนี่ยวนำในสุญญากาศ + การหลอมซ้ำด้วยอาร์กในสุญญากาศ) กระบวนการหลอมสองขั้นตอนนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความบริสุทธิ์สูงสุดของโลหะฐาน ซึ่งเป็นข้อกำหนดพื้นฐานที่จำเป็นต่อการบรรลุประสิทธิภาพสูงสุดของ EP
สถานการณ์การใช้งานหลัก
•
กระบวนการหลัก – การส่งก๊าซปฏิกิริยาความบริสุทธิ์สูงสำหรับการกัดเซาะ การสะสมไอเคมี CVD การฝังไอออน และการพิมพ์หิน.•
ก๊าซพิเศษ – การจัดการอย่างปลอดภัยสำหรับก๊าซไวไฟ เป็นพิษ หรือกัดกร่อน เช่น SiH₄, PH₃, Cl₂ และ BCl₃ สำหรับก๊าซอันตรายอย่างยิ่ง มักใช้ท่อ EP แบบสองชั้น (ท่อด้านในสำหรับก๊าซ ปลอกด้านนอกดูดสุญญากาศหรือไล่ด้วยไนโตรเจนเพื่อตรวจสอบการรั่วไหล).•
ฮาร์ดแวร์ที่สำคัญ – ใช้ในแผงจ่ายก๊าซ (VMB) ตู้เก็บก๊าซ และการเชื่อมต่อเครื่องมือในกระบวนการผลิต ซึ่งจำเป็นต้องมีพื้นผิวภายในที่สะอาดเป็นพิเศษ
นอกเหนือจากท่อ: สิ่งจำเป็นอื่นๆ สำหรับระบบ UHP ที่สมบูรณ์
เพื่อให้มั่นใจถึงความสมบูรณ์แบบอย่างแท้จริง ระบบจะต้องรวมเอาสิ่งต่อไปนี้ด้วย:
•
การเชื่อมออร์บิทัลแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ – ดำเนินการในห้องคลีนรูมระดับ ISO Class 5 (Class 100) หรือดีกว่า ซึ่งช่วยขจัดความแปรปรวนจากการเชื่อมด้วยมือและความเสี่ยงจากการปนเปื้อน•
ข้อต่อซีลหน้าแบบโลหะทั้งหมด – เช่น ชนิด VCR® หรือ W-Seal ซึ่งอาศัยปะเก็นโลหะเพื่อประสิทธิภาพการรั่วซึมเป็นศูนย์
การทำความสะอาดและบรรจุภัณฑ์ที่เข้มงวด – ท่อ EP โดยทั่วไปจะถูกทำความสะอาดด้วยน้ำบริสุทธิ์สูง ทำให้แห้ง และไล่ด้วยไนโตรเจนก่อนที่จะบรรจุถุงสองชั้นในบรรจุภัณฑ์ห้องสะอาด เพื่อรักษาความบริสุทธิ์ "ตามสภาพการจัดส่ง" จนกว่าจะถึงเวลาติดตั้ง
ท่อ EP ไม่ใช่เพียงท่อธรรมดา แต่เป็นแนวป้องกันด่านแรกในการส่งจ่ายก๊าซในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ พื้นผิวเรียบพิเศษ ความต้านทานการกัดกร่อนที่เหนือกว่า และความบริสุทธิ์ของวัสดุระดับพรีเมียม ส่งผลโดยตรงต่ออัตราผลผลิตของเวเฟอร์ ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ และความสามารถในการทำกำไรโดยรวมของโรงงานผลิต ในโลกของโหนดขนาดต่ำกว่า 5 นาโนเมตรและงบประมาณข้อบกพร่องที่เข้มงวดยิ่งขึ้น ท่อ EP ไม่ใช่ทางเลือก แต่เป็นพื้นฐานที่จำเป็น
ติดต่อ
กรอกข้อมูลของคุณแล้วเราจะติดต่อกลับ