Leader de l'innovation dans l'industrie des semi-conducteurs, les solutions de lithographie d'ASML font des bonds de géant à cette échelle minuscule depuis 1984. Dans notre technologie, le matériel rencontre le logiciel pour offrir une approche holistique de la production de masse de motifs sur silicium.
Tout sur les puces
Les micropuces portent de nombreux noms : circuits intégrés, puces semi-conductrices, puces informatiques ou, plus simplement, puces. Quel que soit le nom que vous leur donnez, ces minuscules morceaux de silicium sont le fondement du monde numérique. Ils rendent possibles nos smartphones, nos voitures, nos équipements médicaux et tant d'autres appareils désormais courants – et plus ils deviennent petits, plus la technologie que nous concrétisons dans le monde quotidien est avancée. Ils sont peut-être petits, mais leur impact est considérable.
Principes de la lithographie
Un système de lithographie est essentiellement un système de projection. La lumière est projetée à travers un plan du motif qui sera imprimé (appelé « masque » ou « réticule »). Le plan est quatre fois plus grand que le motif prévu sur la puce. Une fois le motif encodé dans la lumière, l'optique du système réduit et focalise le motif sur une plaquette de silicium photosensible. Après l'impression du motif, le système déplace légèrement la plaquette et en réalise une autre copie.
Ce processus est répété jusqu'à ce que la tranche soit couverte de motifs, complétant ainsi une couche de puces de la tranche. Pour fabriquer une micropuce entière, ce processus sera répété 100 fois ou plus, superposant des motifs sur des motifs. La taille des motifs à imprimer varie selon la couche, ce qui signifie que différents types de systèmes de lithographie sont utilisés pour différentes couches – de nos systèmes EUV de dernière génération pour les plus petits motifs aux systèmes DUV plus anciens pour les plus grands.
Logiciels
Si nos innovations matérielles sont Batman, alors le logiciel est son Robin. Même si vous connaissez peut-être ASML comme une entreprise matérielle, nous avons en réalité l'une des plus grandes et des plus pionnières communautés logicielles au monde. Il serait impossible pour nos systèmes de lithographie de fabriquer des puces à des dimensions de plus en plus petites sans les logiciels que nous développons. Par conséquent, nos systèmes de lithographie sont désormais un hybride de matériel de haute technologie et de logiciels avancés. Nos équipes de développement travaillent sur un éventail de pratiques de codage, fournissant des solutions innovantes aux problèmes complexes qui affectent les systèmes de fabrication de puces au cœur de l'industrie électronique.