产品简介
该设备将真空/气氛控制与高温烧结功能相结合,是专为陶瓷金属化雾化芯行业、晶圆加热板行业研发的一款高真空氢气烧结炉。既可进行真空烧结,也可通入氢气进行气氛烧结。设备具备超高的温场均匀度、多重安全保护结构以及精准的控制精度,通过合理的结构与控制系统设计,使生产过程更加安全高效,有助于节省人力、降低工艺成本并提高生产效率。
技术特点
烧结模式:支持高真空烧结与氢气气氛烧结,一机多用
温场性能:超高的温场均匀度,保证批次一致性
安全保护:多重安全保护结构(如氢气泄漏检测、防爆、超温报警等)
控制精度:精准的温度与气氛控制系统
结构设计:紧凑合理,便于操作与维护
产品优点
高效灵活:真空与氢气烧结可切换,适应不同工艺需求
温场优异:超高的炉温均匀性,提升产品良率
安全可靠:多重安全防护机制,保障氢气等易燃气体的操作安全
精度高:精准控温控气,满足高要求金属化层质量
经济性好:一体化设计降低人力与工艺成本,提高生产效率