Produktübersicht

Dieses Gerät ist ein Hochtemperatur-Vakuum-Entfettungs- und Sinterofen, der speziell für die Aluminiumnitrid-Keramiksubstratindustrie entwickelt wurde und Entfettungs- und Sinterfunktionen in einem vereint. Es verwendet eine doppelte wassergekühlte Vakuumkammerstruktur, kombiniert mit Graphit-Mehrzonen-Einzeltemperaturregelung und Heizung, und unterstützt sowohl Vakuum- als auch Teildruckentfettungsmodi. Das Gassystem verwendet ein Mehrkanal-Gleichstromdesign, das die Entfettungs- und Entgasungswirkung erheblich verbessern kann und die bevorzugte Ausrüstung für das Sintern von Aluminiumnitridsubstraten ist.

Technische Merkmale

Gehäusestruktur: Doppelte wassergekühlte Vakuumkammer, hohe Kühleffizienz, gute Luftdichtheit

Heizmethode: Graphit-Heizelemente, unabhängige Temperaturregelung in mehreren Zonen, starke Temperaturfeldkontrolle

Entfettungsmodus: Unterstützt sowohl Vakuum- als auch Teildruckentfettungsmodi, hohe Prozessflexibilität

Gaswegdesign: Mehrkanal-Gasstruktur im Gleichstromprinzip, gleichmäßige Luftstromverteilung, gründlichere Entgasung

Produktvorteile

Hohe Spezifität: Entwickelt für die Prozessmerkmale von Aluminiumnitridsubstraten, hohe Übereinstimmung

Integriertes Design: Entfettung und Sintern erfolgen im selben Gerät, reduziert Materialtransfer und erhöht die Effizienz

Doppelter Entfettungsmodus: Flexible Wahl zwischen Vakuum- oder Teildruckentfettung, geeignet für Substrate mit unterschiedlichen Formulierungen und Dicken

Gleichmäßiges Temperaturfeld: Unabhängige Temperaturregelung in mehreren Zonen, gewährleistet Konsistenz der Substratchargen

Hervorragende Entgasungswirkung: Mehrkanal-Gasweg im Gleichstromprinzip, vermeidet lokale Kohlenstoffablagerungen und verbessert die Ausbeute