产品简介

该设备是专门为氮化铝陶瓷基板行业开发的一款高温真空脱脂烧结一体炉，集脱脂与烧结功能于一体。采用双层水冷真空壳体结构，配合石墨多温区独立控温加热，支持真空脱脂和分压脱脂双重模式。气体系统采用多通道平流式设计，可显著提升脱脂排胶效果，是氮化铝基板烧结工艺的首选设备。

技术特点

壳体结构：双层水冷真空壳体，冷却效率高，气密性好

加热方式：石墨加热元件，多温区独立控温，温场可控性强

脱脂模式：支持真空脱脂与分压脱脂两种模式，工艺灵活性高

气路设计：多通道平流式气体结构，气流分布均匀，排胶更彻底

产品优点

专用性强：针对氮化铝基板工艺特点开发，匹配度高

一体化设计：脱脂、烧结在同一设备内完成，减少物料转移，提高效率

双重脱脂模式：可灵活选择真空或分压脱脂，适应不同配方与厚度基板

温场均匀：多温区独立控温，保证基板批次一致性

排胶效果优异：平流式多通道气路，避免局部积碳，提高良率