Краткое описание продукта
Данное оборудование представляет собой высокотемпературную вакуумную печь для обезжиривания и спекания, разработанную специально для производства керамических подложек из нитрида алюминия, объединяющую функции обезжиривания и спекания. Используется двухслойная водоохлаждаемая вакуумная корпусная конструкция в сочетании с графитовым нагревом с независимым управлением температурой в нескольких зонах, поддерживающая как вакуумное обезжиривание, так и обезжиривание под частичным давлением. Газовая система имеет многоканальную конструкцию с ламинарным потоком, которая может значительно улучшить эффект удаления клея при обезжиривании и является предпочтительным оборудованием для процесса спекания подложек из нитрида алюминия.
Технические характеристики
Корпус: двухслойный водоохлаждаемый вакуумный корпус, высокая эффективность охлаждения, хорошая герметичность
Способ нагрева: графитовые нагревательные элементы, независимое управление температурой в нескольких зонах, высокая управляемость температурным полем
Режим обезжиривания: поддерживает два режима — вакуумное обезжиривание и обезжиривание под частичным давлением, высокая гибкость процесса
Конструкция газовой системы: многоканальная газовая структура с ламинарным потоком, равномерное распределение газового потока, более тщательное удаление клея
Преимущества продукта
Высокая специализация: разработано с учетом особенностей процесса производства подложек из нитрида алюминия, высокая степень соответствия
Интегрированная конструкция: обезжиривание и спекание выполняются в одном оборудовании, уменьшая перенос материалов и повышая эффективность
Двойной режим обезжиривания: гибкий выбор вакуумного обезжиривания или обезжиривания под частичным давлением, адаптируется к подложкам с различными рецептурами и толщиной
Равномерное температурное поле: независимое управление температурой в нескольких зонах, обеспечивающее согласованность партий подложек
Отличный эффект удаления клея: многоканальная газовая система с ламинарным потоком, предотвращает локальное образование углерода, повышает выход годных изделий
