সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলিতে UHP গ্যাস ডেলিভারি সিস্টেম: কেন EP টিউবিং গুরুত্বপূর্ণকেন UHP গ্যাস ডেলিভারি সিস্টেম এত গুরুত্বপূর্ণ?
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে—যেমন এচিং, CVD, আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং লিথোগ্রাফির মতো প্রক্রিয়ায়—প্রসেস গ্যাসগুলোকে অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতার হতে হয়, সাধারণত 99.9999% (6N) বা এমনকি 99.99999% (7N)। এমনকি অতি সামান্য দূষণ
তৈরী হয় 09.09