Tamil
09.09 துருக
செமிகண்டக்டர் ஃபேப்களில் UHP எரிவாயு விநியோக அமைப்புகள்: EP குழாய்கள் ஏன் முக்கியம்
UHP வாயு விநியோக அமைப்புகள் ஏன் மிகவும் முக்கியமானவை?
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில்—செதுக்குதல், CVD, அயனி பொருத்துதல், மற்றும் லித்தோகிராபி போன்ற செயல்முறைகளில்—செயல்முறை வாயுக்கள் அதி-உயர் தூய்மையாக, பொதுவாக 99.9999% (6N) அல்லது 99.99999% (7N) கூட இருக்க வேண்டும். ppb (பத்து கோடிக்கு ஒரு பங்கு) அல்லது ppt (டிரில்லியனுக்கு ஒரு பங்கு) அளவிலான சுவடு மாசுக்கள்—ஈரப்பதம் அல்லது ஆக்சிஜன் போன்றவை—கேட் ஆக்சைடு மெலிதல், உலோக வெற்றிடங்கள், அல்லது வேஃபர்களில் குறுகிய சுற்றுகள் போன்ற மரண தோல்விகளை ஏற்படுத்தி, முழு தொகுதிகளையும் நிராகரிக்க வழிவகுக்கும்.
எனவே UHP வாயு விநியோக அமைப்பின் பணி, வாயுக்களை மூலத்திலிருந்து செயல்முறை கருவிக்கு தூய்மையில் எந்த சிதைவும் இல்லாமல் கொண்டு செல்வதாகும், ஒவ்வொரு இடத்திலும் மாசுபாடு மற்றும் கசிவைத் தடுப்பதாகும்.
EP குழாய் ஏன் UHP அமைப்புகளின் முதுகெலும்பாக மாறுகிறது?
EP (மின்வழி மெருகூட்டப்பட்ட) குழாய்கள் மின்வேதியியல் மெருகூட்டல் செயல்முறைக்கு உட்படுத்தப்படும் துருவேறா எஃகிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன, இது கண்ணாடி போன்ற உள் மேற்பரப்பை உருவாக்குகிறது. இது UHP வாயு விநியோகத்திற்கான இன்றியமையாத "தமனி" ஆக அமைகிறது.
இறுதி தூய்மை – மூலத்திலேயே தடுப்பு
EP செயலாக்கம் உள் மேற்பரப்பு கரடுமுரடான தன்மையை (Ra) 0.13 µm – 0.25 µm அல்லது அதற்கும் குறைவாகக் குறைக்கிறது. இந்த மீநுட்பமான மெருகூட்டப்பட்ட பூச்சு நுண்ணிய பிளவுகள் மற்றும் உறிஞ்சும் தளங்களை நீக்கி, துகள்கள், உலோக அயனிகள் அல்லது ஈரப்பதம் ஒட்டிக்கொள்ள எந்த இடத்தையும் விட்டுவைக்காது.
மேம்படுத்தப்பட்ட அரிப்பு எதிர்ப்பு – தூய்மை பாதுகாப்பு
மின்வழி மெருகூட்டல் படி மேற்பரப்பு அசுத்தங்களை நீக்கி, குரோமியம்-ஆக்சைடு நிறைந்த செயலற்ற அடுக்கை உருவாக்குகிறது, இது Cl₂, CF₄ மற்றும் HCl போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. இது துகள்கள் அல்லது வாயு வெளியேற்ற மாசுபாட்டை உருவாக்கக்கூடிய குழாய் சுவர் அரிப்பைத் தடுக்கிறது.
மேம்படுத்தப்பட்ட ஓட்ட திறன் & விரைவான சுத்திகரிப்பு
மென்மையான உள் சுவர் ஓட்ட எதிர்ப்பைக் குறைத்து, அமைப்பு சுத்திகரிப்பு மற்றும் வாயு மாற்றீட்டை விரைவுபடுத்துகிறது. விரைவான வாயு மாறுதல் தேவைப்படும் செயல்முறைகளில், இது சுழற்சி நேரங்களைக் குறைத்து ஃபேப் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.
உயர்‑தரப் பொருள் – “கிரவுன்” தரநிலை
உயர்தர EP குழாய்கள் 316L VIM‑VAR (வெற்றிட தூண்டல் உருகுதல் + வெற்றிட வில் மறுஉருகுதல்) துருப்பிடிக்காத எஃகிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன. இந்த இரட்டை உருகுதல் செயல்முறை அடிப்படை உலோகத்தின் மிக உயர்ந்த மொத்த தூய்மையை உறுதி செய்கிறது, இது EP இன் இறுதி செயல்திறனை அடைவதற்கான அடிப்படை முன்நிபந்தனையாகும்.
முக்கிய பயன்பாட்டு காட்சிகள்
•
முக்கிய செயல்முறைகள் – செதுக்குதல், CVD, அயன் பொருத்துதல் மற்றும் லித்தோகிராபிக்கு உயர் தூய்மையான வினைபுரி வாயுக்களை வழங்குதல்.•
சிறப்பு வாயுக்கள் – SiH₄, PH₃, Cl₂ மற்றும் BCl₃ போன்ற எரியக்கூடிய, நச்சு அல்லது அரிக்கும் வாயுக்களை பாதுகாப்பாக கையாளுதல். மிகவும் ஆபத்தான வாயுக்களுக்கு, இரட்டை கொள்கலன் EP குழாய்கள் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன (வாயுவுக்கு உள் குழாய், கசிவு கண்காணிப்புக்கு வெளிப்புற உறை வெற்றிடமாக்கப்பட்ட அல்லது நைட்ரஜனால் சுத்திகரிக்கப்பட்டது).•
முக்கிய வன்பொருள் – வாயு விநியோக பேனல்கள் (VMBs), வாயு அலமாரிகள் மற்றும் மிக தூய்மையான உள் மேற்பரப்புகள் கட்டாயமாக தேவைப்படும் செயல்முறை கருவி இணைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
குழாய்களுக்கு அப்பால்: முழுமையான UHP அமைப்புக்கான பிற அத்தியாவசியங்கள்
முழுமையான நேர்மையை உறுதிப்படுத்த, கணினி அமைப்பு பின்வருவனவற்றையும் உள்ளடக்க வேண்டும்:
•
முழு தானியங்கி சுற்றுப்பாதை வெல்டிங் – ISO வகுப்பு 5 (வகுப்பு 100) அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட தூய அறைகளில் செய்யப்படுகிறது, இது கைமுறை வெல்டிங் மாறுபாடுகள் மற்றும் மாசுபாட்டு அபாயங்களை நீக்குகிறது.•
அனைத்து உலோக முகம்‑சீல் பொருத்துதல்கள் – VCR® அல்லது W‑Seal வகைகள் போன்றவை, பூஜ்ஜிய‑கசிவு செயல்திறனுக்காக உலோக கேஸ்கெட்டுகளை நம்பியிருக்கின்றன.•
கடுமையான சுத்தம் & பொதியிடல் – EP குழாய்கள் பொதுவாக உயர்‑தூய்மை நீரால் சுத்தம் செய்யப்பட்டு, உலர்த்தப்பட்டு, நைட்ரஜனால் பர்ஜ் செய்யப்பட்டு, நிறுவல் வரை அவற்றின் “அனுப்பப்பட்ட‑நிலை” தூய்மையைப் பாதுகாக்க தூய அறை பொதியிடலில் இரட்டை‑பையில் வைக்கப்படுகின்றன.
EP குழாய் வெறும் குழாய் அல்ல—இது குறைக்கடத்தி வாயு விநியோகத்தில் முதல் பாதுகாப்பு அணி. அதன் அல்ட்ரா‑மென்மையான மேற்பரப்பு, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, மற்றும் உயர்‑தரப் பொருள் தூய்மை ஆகியவை நேரடியாக வேஃபர் விளைச்சல், சாதன நம்பகத்தன்மை, மற்றும் ஒட்டுமொத்த ஃபேப் லாபத்தை பாதிக்கின்றன. துணை‑5nm முனைகள் மற்றும் எப்போதும் இறுக்கமான குறைபாடு பட்ஜெட்டுகள் உலகில், EP குழாய் விருப்பமானது அல்ல—இது அடிப்படையானது.
தொடர்பு
உங்கள் தகவலை விட்டுச் செல்லுங்கள், நாங்கள் உங்களைத் தொடர்பு கொள்வோம்.