செமிகண்டக்டர் ஃபேப்களில் UHP எரிவாயு விநியோக அமைப்புகள்: EP குழாய்கள் ஏன் முக்கியம்UHP வாயு விநியோக அமைப்புகள் ஏன் மிகவும் முக்கியமானவை?
அரைக்கடத்தி உற்பத்தியில்—பொறித்தல், CVD, அயன் பொருத்துதல் மற்றும் லித்தோகிராஃபி போன்ற செயல்முறைகளில்—செயல்முறை வாயுக்கள் மீயுயர் தூய்மையுடன் இருக்க வேண்டும், பொதுவாக 99.9999% (6N) அல்லது 99.99999% (7N) கூட. மிகச் சிறிய அசுத்த
09.09 துருக