Ўзбек тили
Tashkil Topildi 09.09
Yarimo‘tkazgich fabrikalarida UHP gaz yetkazib berish tizimlari: Nima uchun EP quvurlari muhim
Nima uchun UHP gaz yetkazib berish tizimlari bunchalik muhim?
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda — o'yma, CVD, ion implantatsiyasi va litografiya kabi jarayonlarda — texnologik gazlar o'ta yuqori tozalikka ega bo'lishi kerak, odatda 99.9999% (6N) yoki hatto 99.99999% (7N). Hatto ppb (milliarddan bir qism) yoki ppt (trilliondan bir qism) darajasidagi arzimas ifloslantiruvchi moddalar — masalan, namlik yoki kislorod — darvoza oksidining yupqalashishi, metall bo'shliqlar yoki gofretlarda qisqa tutashuvlar kabi halokatli nuqsonlarga olib kelishi va butun partiyalarni yo'q qilishi mumkin.
Shuning uchun UHP gaz yetkazib berish tizimining vazifasi gazlarni manbadan texnologik uskunaga tozalik darajasi pasaymasdan yetkazish, har bir nuqtada ifloslanish va oqishning oldini olishdir.
Nima uchun EP quvurlari UHP tizimlarining asosiga aylanadi?
EP (Elektrokimyoviy jilolangan) quvurlar zanglamaydigan po'latdan tayyorlanadi va elektrokimyoviy jilolash jarayonidan o'tadi, natijada oyna kabi ichki yuza hosil bo'ladi. Bu uni UHP gaz taqsimoti uchun ajralmas "arteriya"ga aylantiradi.
Eng yuqori tozalik – Manbada oldini olish
EP ishlovi ichki yuza g'adir-budurligini (Ra) 0,13 µm – 0,25 µm yoki undan ham pastroqqa tushiradi. Bu o'ta silliq qoplama mikroskopik yoriqlar va adsorbsiya joylarini yo'q qiladi, zarrachalar, metall ionlari yoki namlikning yopishishi uchun joy qoldirmaydi.
Kuchaytirilgan korroziyaga chidamlilik – Tozalikni saqlash
Elektrokimyoviy jilolash bosqichi yuza iflosliklarini olib tashlaydi va xrom-oksidga boy passiv qatlam hosil qiladi, bu Cl₂, CF₄ va HCl kabi korroziy gazlarga qarshilikni sezilarli darajada oshiradi. Bu zarrachalar yoki gaz chiqarish ifloslanishini keltirib chiqarishi mumkin bo'lgan quvur devori korroziyasining oldini oladi.
Yaxshilangan oqim samaradorligi va tezroq tozalash
Silliq ichki devor oqim qarshiligini kamaytiradi va tizimni tozalash hamda gazni almashtirishni tezlashtiradi. Tez gaz almashtirishni talab qiladigan jarayonlarda bu tsikl vaqtlarini qisqartiradi va fab unumdorligini oshiradi.
Yuqori sifatli material – "Toj" standarti
Yuqori sifatli EP quvurlari 316L VIM-VAR (Vakuumli induksion eritish + Vakuumli yoy qayta eritish) zanglamas po'latdan ishlab chiqariladi. Ushbu ikki marta eritish jarayoni asosiy metallning yuqori darajadagi tozaligini ta'minlaydi, bu esa EP ning eng yuqori samaradorligiga erishishning asosiy shartidir.
Asosiy qo'llanish stsenariylari
•
Asosiy jarayonlar – O'yish, CVD, ion implantatsiyasi va litografiya uchun yuqori tozalikdagi reaktiv gazlarni yetkazib berish.•
Maxsus gazlar – SiH₄, PH₃, Cl₂ va BCl₃ kabi yonuvchan, zaharli yoki korroziv gazlarni xavfsiz boshqarish. O'ta xavfli gazlar uchun ko'pincha ikki qavatli EP quvurlari qo'llaniladi (gaz uchun ichki quvur, oqishni nazorat qilish uchun tashqi qobiq vakuumlangan yoki azot bilan tozalangan).•
Muhim uskunalar – Gaz taqsimlash panellari (VMB), gaz shkaflari va o'ta toza ichki yuzalar talab qilinadigan jarayon asboblari ulanishlarida qo'llaniladi.
Quvurlardan tashqari: To'liq UHP tizimi uchun boshqa muhim elementlar
Mutlaq yaxlitlikni ta'minlash uchun tizim quyidagilarni ham o'z ichiga olishi kerak:
•
To'liq avtomatik orbital payvandlash – ISO 5-sinf (100-sinf) yoki undan yuqori toza xonalarda amalga oshiriladi, qo'lda payvandlashdagi farqlar va ifloslanish xavflarini bartaraf etadi.•
To‘liq metall yuzli muhrlagichlar – VCR® yoki W-Seal turlari kabi, nol oqish ishlashi uchun metall qistirmalarga tayanadi.•
Qattiq tozalash va qadoqlash – EP quvurlari odatda yuqori tozalikdagi suv bilan tozalanadi, quritiladi va o‘rnatishgacha "yuborilgan holatdagi" tozaligini saqlash uchun toza xonada ikki qavatli qadoqlashdan oldin azot bilan tozalanadi.
EP quvurlari shunchaki quvur emas – bu yarimo‘tkazgich gazini yetkazib berishda birinchi himoya chizig‘i. Uning o‘ta silliq yuzasi, yuqori korroziyaga chidamliligi va yuqori material tozaligi to‘g‘ridan-to‘g‘ri plastinka unumdorligiga, qurilma ishonchliligiga va umuman fab foydasiga ta’sir qiladi. 5 nm dan kichik tugunlar va tobora qattiqlashayotgan nuqson byudjetlari dunyosida EP quvurlari ixtiyoriy emas – u asosdir.
Боғланиш
Маълумотингизни қолдиринг, биз сиз билан боғланамиз.