Yarimo‘tkazgich fabrikalarida UHP gaz yetkazib berish tizimlari: Nima uchun EP quvurlari muhimNima uchun UHP gaz yetkazib berish tizimlari shunchalik muhim?
Yarimo‘tkazgich ishlab chiqarishda — etching, CVD, ion implantatsiyasi va litografiya kabi jarayonlarda — jarayon gazlari o‘ta yuqori tozalikka ega bo‘lishi kerak, odatda 99.9999% (6N) yoki hatto 99.99999% (7N). Hatto iz miqdoridagi ifloslanish
Tashkil Topildi 09.09