Hệ thống phân phối khí UHP trong các nhà máy bán dẫn: Tại sao ống EP lại quan trọngTại sao hệ thống phân phối khí UHP lại quan trọng đến vậy?
Trong sản xuất chất bán dẫn—các quy trình như khắc, CVD, cấy ion và quang khắc—khí xử lý phải có độ tinh khiết siêu cao, thường là 99,9999% (6N) hoặc thậm chí 99,99999% (7N). Ngay cả tạp chất dạng vết
Tạo vào 09.09