우리의 기술

마이크로칩은 집적 회로, 반도체 칩, 컴퓨터 칩 또는 가장 간단하게 칩 등 다양한 이름으로 불립니다. 무엇이라고 부르든, 이 작은 실리콘 조각들은 디지털 세계의 기반입니다. 이들은 우리의 스마트폰, 자동차, 의료 장비 및 기타 많은 현재의 일반적인 기기들을 가능하게 합니다. 그리고 이들이 더 작아질수록, 우리는 일상 세계에서 더 발전된 기술을 실현합니다. 작을 수 있지만, 그 영향력은 엄청납니다.

리소그래피 시스템은 본질적으로 투영 시스템입니다. 빛은 인쇄될 패턴의 청사진(‘마스크’ 또는 ‘레티클’이라고 함)을 통해 투영됩니다. 청사진은 칩에 인쇄될 의도된 패턴보다 네 배 더 큽니다. 패턴이 빛에 인코딩된 상태에서 시스템의 광학 장치는 패턴을 축소하여 감광성 실리콘 웨이퍼에 초점을 맞춥니다. 패턴이 인쇄된 후 시스템은 웨이퍼를 약간 이동시켜 웨이퍼에 또 다른 복사본을 만듭니다.

이 과정은 웨이퍼가 패턴으로 덮여 웨이퍼 칩의 한 층이 완성될 때까지 반복됩니다. 하나의 완전한 마이크로칩을 만들기 위해서는 이 과정이 100회 이상 반복되며, 패턴 위에 패턴을 쌓아 올립니다. 인쇄할 피처의 크기는 층에 따라 달라지므로, 가장 작은 피처에는 최신 세대 EUV 시스템을, 가장 큰 피처에는 구형 DUV 시스템을 사용하는 등 층마다 다른 유형의 리소그래피 시스템이 사용됩니다.

우리의 하드웨어 혁신이 배트맨이라면, 소프트웨어는 로빈입니다. ASML을 하드웨어 회사로 알고 계실 수도 있지만, 우리는 실제로 세계에서 가장 크고 선구적인 소프트웨어 커뮤니티 중 하나를 보유하고 있습니다. 우리가 개발하는 소프트웨어 없이는 우리의 리소그래피 시스템이 점점 더 작아지는 치수로 칩을 제조하는 것이 불가능할 것입니다. 그 결과, 우리의 리소그래피 시스템은 이제 첨단 하드웨어와 고급 소프트웨어의 하이브리드입니다. 우리의 개발 팀은 다양한 코딩 방식을 넘나들며 전자 산업의 핵심인 칩 제조 시스템에 영향을 미치는 복잡한 문제에 혁신적인 솔루션을 제공합니다.