實現全方位微影技術價值
在 ASML,我們為客戶提供在矽晶圓上大量生產微晶片圖案所需的一切。我們的整體方法將計算建模、光學量測和電子束檢測與微影系統整合在一起,使晶片製造商能夠滿足最嚴格的圖案化要求,並以正確的成本快速優化其晶片製造流程。
DUV微影系統
深紫外光 (DUV) 微影系統是半導體產業的基石。我們產品組合中的乾式與浸潤式 DUV 系統,用於最先進邏輯與記憶體晶片的大量製造、創新晶片研發以及介於兩者之間的各種應用。
深紫外光 (DUV) 微影系統是半導體產業的基石。我們產品組合中的乾式與浸潤式 DUV 系統,用於最先進邏輯與記憶體晶片的大量製造、創新晶片研發以及介於兩者之間的各種應用。