作為半導體產業的創新領導者，ASML 的微影解決方案自 1984 年以來一直在這個微小的尺度上取得巨大飛躍。在我們的技術中，硬體與軟體相結合，提供了一種在矽晶片上大量生產圖案的整體方法。
晶片全解析
微晶片有許多名稱：積體電路、半導體晶片、電腦晶片，或最簡單的稱呼——晶片。無論您怎麼稱呼它們，這些微小的矽片都是數位世界的基礎。它們讓我們智慧型手機、汽車、醫療設備以及許多如今常見的裝置得以實現——而且它們變得越小，我們在日常世界中實現的技術就越先進。它們或許很小，但影響力卻極為巨大。
微影技術原理
微影系統本質上是一個投影系統。光線透過將被印刷圖案的藍圖（稱為「光罩」或「倍縮光罩」）投射。藍圖比晶片上的預定圖案大四倍。將圖案編碼於光線中後，系統的光學元件會縮小並將圖案聚焦到感光矽晶圓上。圖案印刷完成後，系統會稍微移動晶圓，並在晶圓上再複製一個圖案。
重複此過程直到晶圓上佈滿圖案，完成晶圓晶片的一層。要製作一整塊微晶片，此過程將重複100次或更多次，在圖案上疊加圖案。所需印刷的特徵尺寸因層而異，這意味著不同層使用不同類型的光刻系統——從我們最新一代用於最小特徵的EUV系統，到用於最大特徵的較舊DUV系統。
軟體
如果我們的硬體創新是蝙蝠俠，那麼軟體就是它的羅賓。儘管您可能知道 ASML 是一家硬體公司，但我們實際上擁有世界上最大且最具開創性的軟體社群之一。如果沒有我們開發的軟體，我們的微影系統就不可能以如此日益微小的尺寸製造晶片。因此，我們的微影系統現在是高階硬體和先進軟體的混合體。我們的開發團隊跨越多種程式設計實踐，為影響電子產業核心晶片製造系統的複雜問題提供創新解決方案。