Sistemas de Entrega de Gas UHP en Fabs de Semiconductores: Por Qué Importa la Tubería EP¿Por qué son tan críticos los sistemas de entrega de gas UHP?
En la fabricación de semiconductores—procesos como grabado, CVD, implantación de iones y litografía—los gases de proceso deben ser de ultra alta pureza, típicamente 99.9999% (6N) o incluso 99.99999% (7N). Incluso trazas de contamin
Creado 09.09