Yarımkeçirici Fabriklərində UHP Qaz Çatdırılma Sistemləri: EP Borularının ƏhəmiyyətiUHP Gaz Dağıtım Sistemleri Neden Bu Kadar Kritik?
Yarı iletken üretiminde—aşındırma (etching), CVD, iyon yerleştirme ve litografi gibi süreçlerde—proses gazlarının ultra yüksek saflıkta olması gerekir, tipik olarak %99,9999 (6N) hatta %99,99999 (7N). Eser miktardaki kirlilik bile
Oluşturuldu 09.09