UHP-Gasversorgungssysteme in Halbleiterfabriken: Warum EP-Rohre wichtig sindWarum sind UHP-Gasversorgungssysteme so entscheidend?
In der Halbleiterfertigung – bei Prozessen wie Ätzen, CVD, Ionenimplantation und Lithografie – müssen Prozessgase eine ultrahohe Reinheit aufweisen, typischerweise 99,9999 % (6N) oder sogar 99,99999 % (7N). Selbst Spurenverunreinigungen
Erstellt 09.09