Sistemas de Entrega de Gás UHP em Fabs de Semicondutores: Por que a Tubulação EP é ImportantePor que os sistemas de entrega de gás UHP são tão críticos?
Na fabricação de semicondutores—processos como gravação, deposição química de vapor (CVD), implantação iônica e litografia—os gases de processo devem ser de ultra-alta pureza, tipicamente 99,9999% (6N) ou até 99,99999% (7N). Até mesmo contaminação em traços
Criado em 09.09